در بسیاری از فرایندهای لایه نشانی لازم است چسبندگی لایه به زیرلایه در شرایط بهتری انجام شود و همچنین ، لایه های اپتیکی از پکیدگی و در هم تنیدگی مناسب تری برخوردار باشند تا در شرایط مختلف و تست های محیطی دوام بهتری از خود نشان دهند. در این شرایط چشمه های یونی درکنار فرایندهای تبخیر مورد استفاده قرار می گیرند و با انتقال تکانه یون ها به ذرات تبخیر شده ، باعث بهبود فرایند لایه نشانی خواهند شد.
